어떤 물질의 굴절률이 높으면 빛이 이를 통과할 때 파장이 짧아지는 데서 착안해 공기(굴절률 1.0)보다 굴절률이 높은 물(1.36∼1.44)을 사용하는 방법을 이용해 노광공정 장비(리소그라피: 사진석판술)를 교체하지 않고 미세공정을 적용할 수 있는 기술이라고 한다.
굴절률이 높은 물질을 빛이 통과하면 파장이 짧아지는 특성이 있다면 물보다 굴절률이 높은 물질 찾기 경쟁이 벌어지고 있겠다는 생각이 든다.
반도체산업이 한정된 면적내에서 더 많은 양의 반도체 다이(Die)를 만들어내는 경쟁인데 회로선폭을 줄이기 위해서 거액의 반도체장비를 도입해야만 했었던 것이 파장의 특성을 이용해 이를 극복해 낸 것이다.
이를 바탕으로 미국의 반도체 장비업체에 의존적이었던 국내 반도체 업계가 독립할 수 있는 기반을 빨리 마련했으면 좋겠다.